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技術(shù)文章
APC真空蝶閥介紹
日揚(yáng)科技的APC真空蝶閥是一種可以通過電動(dòng)馬達(dá)控制蝶板的開度，從而調(diào)節(jié)真空腔體的壓力的真空閥門，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電面板、太陽能、CVD等產(chǎn)業(yè)的真空制程。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)介紹：
APC蝶閥一般被安裝在真空泵組與真空制程腔室之間，通過真空計(jì)反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小，從而達(dá)到調(diào)節(jié)腔室壓力的目的，搭配O型圈的設(shè)計(jì)，可以隔絕真空側(cè)與大氣側(cè)，防止污染和泄漏。
控制系統(tǒng)介紹：日揚(yáng)的APC真空蝶閥的控制器和執(zhí)行器集成在一體，可以通過多種通訊接口（如MODBUS、DeviceNET等）與外部控制器或軟件進(jìn)行通信。APC真空蝶閥的控制器還具有友善的用戶界面，可以方便地設(shè)定和監(jiān)控閥門狀態(tài)，以及設(shè)置控制參數(shù)、循環(huán)壽命、壓力公差范圍等。
非常快速準(zhǔn)確的壓力控制
*開閥門位置控制
*備用電源：有，用于停電時(shí)關(guān)閉閥門。
*傳感器電源：24V DC 和±15V DC 均有
*2 個(gè)線性傳感器或模擬線性物理量的輸入
*模擬量和數(shù)位控制
*環(huán)境溫度：≤ 70°C max.（控制器部分-24HR）
*遠(yuǎn)端控制（供客戶選擇）
*閥門可由主機(jī)（本地控制）通過RS232控制；用于初始調(diào)整。
*狀態(tài)和位置以綠色4位亮數(shù)字顯示。
日揚(yáng)APC蝶閥具有控制壓力精確、反應(yīng)時(shí)間短、使用壽命長、易維修等特點(diǎn)，搭配Htc的APC軟件，可以簡單快速地設(shè)定并監(jiān)控制程壓力。
>>設(shè)置控制調(diào)整參數(shù)：PID GAIN
>>壓力和位置控制模式
>>附表測(cè)試模式=> 1 cycle schedule
>>設(shè)置閥打開/關(guān)閉速度
>>記錄APC HW/SW 版本, 序列號(hào)和型號(hào)
>>記錄閥門循環(huán)和運(yùn)行時(shí)間
>>設(shè)置公差范圍的壓力
>>循環(huán)壽命和壓力控制記錄
>>控制器參數(shù)上傳和下載
>>斷電保護(hù)功能
>>屏幕截圖
>>壓力學(xué)習(xí)功能
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