真空鍍膜機(jī)要分類有兩個大種類： 蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜，具體則包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，溶膠凝膠法等等 。

一、對于蒸發(fā)鍍膜：
 
 一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。

 厚度均勻性主要取決于：
  1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
  2、基片表面溫度
  3、蒸發(fā)功率，速率
  4、真空度
  5、鍍膜時間，厚度大小。
 
 組分均勻性：

 蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

 晶向均勻性：

  1、晶格匹配度
  2、基片溫度
  3、蒸發(fā)速率

 濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。

 濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。