IC6 INFICON薄膜鍍層控制儀

重復 功能豐富的IC6提供的測量精度

IC6薄膜沉積控制器通過將INFICON薄膜控制器的成熟性能與dute的功能相結合，提供zhuoyue的價值，所有這些都旨在讓您從沉積過程中獲得大收益。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，以速率分辨率（每 1/10 秒 0.00433 ?/s）提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量。沒有其他石英晶體控制器具有IC6的性能，質量和功能，使您可以實現zhuoyue的可重復性。

功能

• INFICON 模式鎖定技術可確保zuiwending、最高分辨率和厚度測量，即使在非常低的速率下也是如此

• Auto Z 通過在材料沉積時自動確定 Z 比來提高厚度精度

• 同時對多達六個信號源進行編碼

• 彩色 TFT LCD 顯示屏可讓您輕松查看過程中的進展情況

• +/-0.0035 Hz 超過 100ms 采樣

• 用于屏幕截圖、配方存儲和數據記錄的 USB 數據存儲

• 強大的 I/O，可靈活地集成到簡單或復雜的系統中（使用可擴展的輸入 （28） 和輸出（24 個繼電器，14 個 TTL 輸出），并使用邏輯功能（100 個邏輯語句）

• 標配 6 個 DAC 輸出，另外 6 個可選，用于源控制、速率或厚度監控

• 可容納多達 50 個流程，每個流程 200 層，流程可以鏈接在一起，最多 10，000 層

• 多傳感器平均，最多 8 個傳感器

• 4 米 XIU 選件能夠為大型系統使用長真空傳感器電纜

• 可選以太網通信

• 可選的IC6配置編輯器軟件（部件號781-620-G1） - 基于LabVIEW®的Windows®軟件，允許離線創建和編輯IC6配置文件，并將IC / 5配置文件轉換為IC6格式。

• 符合 RoHS 標準

典型應用

• gaoduan光學鍍膜