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現(xiàn)場直擊 | 聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC 2025展會現(xiàn)場
現(xiàn)場直擊 | 聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC 2025展會現(xiàn)場

現(xiàn)場直擊|聚焦日揚科技無錫半導體CSEAC2025展會現(xiàn)場無錫半導體設備年會9月4日,第十三屆半導體設備與核心部件及材料展(CSEAC2025)在無錫太湖國際博覽中心正式開幕。現(xiàn)場聚集了半導體全產(chǎn)業(yè)鏈上千家廠商,日揚科技作為半導體核心零部件與材料廠商,攜帶真空閥門、腔體、零配件、真空涂層和尾氣處理設備亮相B1-229展位現(xiàn)場,展臺顧客絡繹不絕,積極探討真空解決方案!展會亮點產(chǎn)品聚焦在APC控壓閥門...

2025-09-05
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  • 高真空插板閥組成及原理

    在真空系統(tǒng)中,高真空插板閥用來切斷或接通管路氣流,按其結(jié)構(gòu)原理可分為滾珠脹緊型與平行四邊形運動機構(gòu)撐開型。本文的研究對象ZBS-800高真空插板閥為滾珠脹緊型,滾珠脹緊方式的高真空插板閥主要由閥體(閥殼、閥蓋、密封圈)、閥板組件(脹緊滾珠、密封閥板、承壓閥板、板簧、保持架、導向輪)、驅(qū)動部分(曲柄連桿機構(gòu)、氣缸、機械到位開關(guān))等部件組成,具體結(jié)構(gòu)原理圖如圖1所示。真空插板閥是一種雙向密封閥,在正向或反向抽真空時,密封閥板兩面形成0至1大氣壓壓差,均能達到真空密封,壓差作用在密...

    20176-6
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  • 高真空插板閥工作狀態(tài)監(jiān)測方法

    根據(jù)ZBS-800型插板閥的組成以及結(jié)構(gòu)特點,可以采用檢測真空閥門閥板位移、閥門開啟以及關(guān)閉過程的聲音、閥門開啟以及關(guān)閉所需時間相互結(jié)合的方法對閥門的工作狀態(tài)進行預測。2.1、閥門密封閥板的位移激光位移傳感器是可以進行非接觸位置、位移測量的精密傳感器,在科學研究、工業(yè)生產(chǎn)、空間技術(shù)、國防等領(lǐng)域得到了廣泛應用,我們選用激光三角測量法傳感器對閥門密封閥板的位移進行測量,激光三角測量法原理如圖2所示,激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,...

    20175-23
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  • 磁控濺射鐵磁性靶材的設計與改進

    將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄,則其不能*屏蔽磁場,一部分磁通將靶材飽和,其余的磁通將從靶材表面通過,達到磁控濺射的要求。這種方法的大缺點是靶材的使用壽命過短,同時靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個缺點是濺射工作時,靶材的熱變形嚴重,往往造成濺射很不均勻。一種對鐵磁性靶材進行的改進設計是在靶材表面刻槽,槽的位置在濺射環(huán)兩側(cè)。這種設計的靶材適用于具有一般導磁率的鐵磁性靶材,例如鎳。但對具有高導磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的...

    20175-15
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  • 真空截止閥的真空夾層氣體特性

    真空截止閥的真空部分主要由內(nèi)閥體和外閥體的中間夾層組成,夾層中氣體越多,對流傳熱就越劇烈,為減少對流換熱的影響,要對夾層進行抽真空處理,殘余氣體的傳熱屬于氣體的能量遷移,對于真空夾層的氣體導熱隨著夾層壓強的不同,氣體的導熱機理不相同。真空夾層的殘余氣體的傳熱分三種情況,分別是:低真空、中真空和高真空,就高真空而言,氣體分子的平均自由程大于容器尺寸,分子間相互碰撞的幾率很低,分子與界面的碰撞比分子間的相互碰撞頻繁得多,氣體中各處溫度相等,氣體分子可以由一個壁面飛向另一個壁面,每...

    20174-20
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  • 為什么質(zhì)量流量計的量程比越小壓降越大

    質(zhì)量流量計它可以測量流體介質(zhì)的質(zhì)量,也可以測量流體介質(zhì)的密度。儀表的量程比會影響它自身測量精度,但是會引起壓降的講法還沒聽過。質(zhì)量流量計根據(jù)哥里奧利效應而制成的質(zhì)量檢測儀表,因此質(zhì)量流量計的檢測不受溫度、壓力、流速、密度、粘度等影響。質(zhì)量流量計的特點質(zhì)量流量計它的檢測精度高、量程范圍寬、可靠性高,而且后期維護量小。在測量流體介質(zhì)質(zhì)量流量時也可以測量流體介質(zhì)的密度。它的輸出信號為4-20maDC模擬量信號,同時又能輸出頻率信號,能更好的與計算機相兼容,因此能構(gòu)成完善的本質(zhì)安全系...

    20174-12
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  • 闡述真空規(guī)管的使用操作

    真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置,是指電離規(guī)管,玻璃管端部用老虎鉗夾破一點,插進真空室密封好,必須大氣狀態(tài)完成。(還有電阻規(guī)它是測粗真空的,這種沒有規(guī)管,就一個傳感器)用來監(jiān)測真空度的,,電離規(guī)開啟一般是有要求的,當壓強到3PA以下才開真空,可設置壓強參數(shù),到了會自動開,過早開會氧化電離規(guī),導致燒壞真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應用于真空環(huán)境的真空度測量領(lǐng)域,如真空鍍膜,太陽能集熱管制作...

    20173-23
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  • 檢漏收集室充氣密封圈設計研究

    充氣密封圈是實現(xiàn)檢漏收集室密封的關(guān)鍵,研究其密封性的設計具有重要的工程意義。舊檢漏收集室采用的無棱充氣密封圈的密封效果不佳,且密封可靠性也較差,因此,針對某收集室的新建要求,有必要對充氣密封圈進行重新的設計,以提高檢漏收集室的密封性及可靠性。本文首先根據(jù)充氣密封圈的密封機理,設計出一種新型截面型式的充氣密封圈;其次,通過有限元仿真的對比分析,得到了新舊兩種不同截面型式充氣密封圈密封面上的應力分布規(guī)律,并以此為基礎,確定了新型截面型式充氣密封圈的*性;后,通過對新建收集室的密封...

    20173-13
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  • 真空閥體內(nèi)殘余氣體傳熱實驗分析

    液氧,液氫在經(jīng)過真空管道及真空截止閥后,1-2小時對真空閥殘余氣體漏熱與常溫下夾層壓強進行了測試,實驗計算結(jié)果表明夾層低溫壓強對應的常溫壓強,與夾層中氫含量和吸附劑的吸附能力密切相關(guān),如果吸附劑的裝填量足夠多,也即吸附劑在低溫下能夠吸附氣體的量大于夾層中可能存在的不凝性氣體的量,對液氫輸送中,可允許稍低的真空度。常溫夾層壓強在40Pa以上殘余氣體漏熱與壓力成非線性關(guān)系,如圖1所示。同時在夾層低壓強的狀態(tài)對殘余氣體的漏熱進行了計算分析如圖2和圖3,實驗結(jié)果表明低壓狀態(tài)下殘余氣體...

    20172-27
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  • 干式螺桿真空泵優(yōu)點和缺點

    干式螺桿真空泵是主要是利用一對螺桿,其特點是兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,所以使得干式螺桿真空泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高。但是在我國使用的螺桿泵主要依靠進口,價格非常昂貴。干式螺桿真空泵,它利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。它的優(yōu)勢彌補了油封式真空泵的不足,我們都稱之為油封式真空泵的升級版...

    20172-20
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  • 水環(huán)式真空泵管路安裝指南

    1、選擇合理的管路方案①真空系統(tǒng)出口與泵的入口之間距離越短越好;②管路拐彎越少越好;③進口管路應高于泵的入口中心線,出口管應避免有引起較大阻力的因素,如出口管上爬、直角拐彎等;④配接進出口管直徑應與產(chǎn)品的進出口直徑一致,如真空系統(tǒng)較小,進出口配接管直徑可以小,但不得小于產(chǎn)品進出口直徑的70%,且出口直徑應大于或等于入口管直徑;⑤管路的拐彎處應圓滑過渡;⑥水環(huán)式真空泵的進水管路要安裝閥門,用來調(diào)節(jié)進水量的多少,進水量的多少對真空度有影響,調(diào)節(jié)進水量時通過觀察真空表的指針來控制閥...

    20171-11
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  • 細長管道對石英真空計讀數(shù)的影響

    依據(jù)風洞實驗測壓過程,對細長管路建立細長管路抽氣模型如圖4所示。細長管路對氣體的流動具有一定的阻礙作用。反過來說它們對氣體的流動都有一定的通導能力,這種能力稱之為流導。流導的大小說明在管路元件兩端的壓強差一定的條件下流經(jīng)管路元件的氣流量的多少。氣體在管道中的流動狀態(tài)不同,管道的流導也不一樣,也就是說,管道對氣體的流導不僅取決于管道的幾何形狀和尺寸,還與管道中流動的氣體種類和溫度、管道中氣體的平均壓力有關(guān)系。所以在計算管道對氣體的流導時,首先必須判明管道中的氣流是哪一種流動狀態(tài)...

    20171-3
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  • 2017年元旦放假通知

    2017年元旦放假通知根據(jù)國家相關(guān)部門關(guān)于2017年節(jié)假日安排的通知,結(jié)合我單位工作實際情況,現(xiàn)將2017年元旦節(jié)放假的有關(guān)事項安排如下:2017年1月1日(星期日)放假,1月2日(星期一)補休。請各部門根據(jù)放假時間,提前做好各項工作安排,妥善安排好值班和安全、保衛(wèi)等工作,保持通信聯(lián)絡暢通,遇有重大突發(fā)事件發(fā)生,要按規(guī)定及時報告并妥善處置,確保度過一個平安愉快的假期。深圳市科銳詩汀科技有限公司2016年12月28日

    201612-28
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